有机EL元件的制造方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN01813994.9
IPC分类号：C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14
申请日期：
2001-08-09
申请人：
新日铁化学株式会社;大阪油化工业株式会社;株式会社瀨田技研

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引证文献

著录项信息

专利名称	有机EL元件的制造方法及装置
申请号	CN01813994.9	申请日期	2001-08-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-10-01	公开/公告号	CN1446268
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;H;0;5;B;3;3;/;1;0;;;H;0;5;B;3;3;/;1;4查看分类表>
申请人	新日铁化学株式会社;大阪油化工业株式会社;株式会社瀨田技研	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大阪油化工业株式会社,株式会社瀨田技研,新日铁住金化学株式会社	当前权利人	大阪油化工业株式会社,株式会社瀨田技研,新日铁住金化学株式会社
发明人	石井和男;宫崎浩;堀田修平;内堀义隆
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李德山

摘要

本发明涉及借助电磁感应加热，均匀且快速地加热装入了蒸镀原料的容器，得到生产率高，质量良好的有机EL元件蒸镀膜的方法。本发明的装置是这样的装置，即，在使容器中的有机EL元件用的有机材料(5)气化，并在成膜基片(6)上堆积后形成薄膜的有机EL薄膜蒸镀中，具备用借助电磁感应发热的材料构成的所述容器，以及为使该有机材料气化，将所述容器进行电磁感应加热的设备。另外，本发明是使用该装置的有机EL元件的制造方法。而且，也能够用由借助电磁感应发热的材料构成的所述容器(2)或代替它将由借助电磁感应发热的材料制成的填充材料装入容器(2)中。

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