样件的分离设备与分离方法以及基片的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN99123686.6
IPC分类号：--
申请日期：
1999-11-05
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	样件的分离设备与分离方法以及基片的制造方法
申请号	CN99123686.6	申请日期	1999-11-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-05-31	公开/公告号	CN1254942
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	柳田一隆;近江和明;坂口清文
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	郑中军

摘要

本发明提供了以高产率分离具有多孔层的粘合的基片叠的技术。涉及的分离设备有一对基片保持部从上下侧夹住粘合的基片叠且水平地保持其转动。由喷嘴喷出射流到基片叠的多孔层中，而于此多孔层将基片叠分离。另一分离设备则具有：一对基片保持部、将流体注入基片叠的多孔层的喷嘴、以及用来防止下基片保持部突发向下运动但在分离此粘合的基片叠时允许其适度运动的意外操作防止机构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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