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一种砷化镓晶片片盒清洗装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022773105.4
  • IPC分类号:B08B9/36;B08B9/34;B08B9/32;B08B13/00;F26B21/00
  • 申请日期:
    2020-11-25
  • 申请人:
    忻州中科晶电信息材料有限公司
著录项信息
专利名称一种砷化镓晶片片盒清洗装置
申请号CN202022773105.4申请日期2020-11-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B9/36IPC分类号B;0;8;B;9;/;3;6;;;B;0;8;B;9;/;3;4;;;B;0;8;B;9;/;3;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人忻州中科晶电信息材料有限公司申请人地址
山西省忻州市开发区(纬二街南,云中路西侧) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人忻州中科晶电信息材料有限公司当前权利人忻州中科晶电信息材料有限公司
发明人彭怀忠;樊海强;曲元瑗;王鼎
代理机构太原达引擎专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人朱世婷
摘要
本实用新型具体涉及一种砷化镓晶片片盒清洗装置,属于晶片片盒清洗技术领域,所要解决的问题是提供一种省力省时的砷化镓晶片片盒清洗装置,采用的方案为:清洗桶与多个控干桶呈环形均匀排列,控干桶外部设置有鼓风机,鼓风机与多个控干桶通过进气管连通,支撑轴设置于清洗桶与多个控干桶围合而成的环形中心,支撑轴可相对清洗桶自转和升降,支撑轴上端连接有多个连接杆,连接杆数量与清洗桶、控干桶的数量之和一致,连接杆上均固定有片盒夹,片盒夹用于夹持片盒,清洗桶内设置有用于清洗片盒内部的片盒洗刷件;本实用新型使用方便,省工省时。

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