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一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110719868.7
  • IPC分类号:C23C8/26;C23C8/32;C23C8/46;C23C8/58
  • 申请日期:
    2021-06-28
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法
申请号CN202110719868.7申请日期2021-06-28
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-24公开/公告号CN113430485A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C8/26IPC分类号C;2;3;C;8;/;2;6;;;C;2;3;C;8;/;3;2;;;C;2;3;C;8;/;4;6;;;C;2;3;C;8;/;5;8查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人闫牧夫;姚佳伟;闫扶摇;张雁祥;陈宝凤;朱磊;杨莹;龙邦篆;徐跃明
代理机构哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司代理人侯静
摘要
一种基于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层的方法,本发明涉及一种制备减摩自润滑复合层的方法。本发明要解决现有类金刚石薄膜沉积方式对设备要求高,操作过程复杂,且产生的薄膜附着力差的问题,解决现有钢基体直接等离子体渗碳产生的薄膜厚度有限,适用钢种受基体碳含量影响的问题。方法:一、预处理;二、渗氮或氮碳共渗处理;三、等离子体渗碳或等离子体碳氮共渗处理。本发明用于等离子体复合热扩渗制备减摩自润滑复合层。

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