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一种标记及其制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910925745.1
  • IPC分类号:H01L21/68;H01L23/544
  • 申请日期:
    2019-09-27
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称一种标记及其制作方法
申请号CN201910925745.1申请日期2019-09-27
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-03-30公开/公告号CN112582324A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;4;4查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人范聪聪
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人虞凌霄
摘要
本申请涉及一种标记图形及其制作方法,所述标记包括由第一版图图形和第二版图图形制作的组合图形,利用所述第一版图图形和所述第二版图图形的整体尺寸差异以及所述第一版图图形和所述第二版图图形中整体尺寸较大者完全覆盖另一方,使得所述组合图形的整体边界轮廓和整体尺寸与所述第一版图图形和所述第二版图图形中整体尺寸较小者均相同。在工艺制程中所述第一版图图形和所述第二版图图形存在位置偏移时,确保所述组合图形的整体尺寸不变,进而保证对所述组合图形的精确识别。

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