一种无铅压电薄膜材料及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110397145.6
IPC分类号：C04B35/468;C04B35/622
申请日期：
2011-12-05
申请人：
合肥工业大学

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著录项信息

专利名称	一种无铅压电薄膜材料及其制备方法
申请号	CN201110397145.6	申请日期	2011-12-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102603288A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/468 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕 C04B35/46 以氧化钛或钛酸盐为基料的（也含氧化锆或氧化铪、锆酸盐或铪酸盐入C04B 35/49）〔6〕 C04B35/462 以钛酸盐为基料的〔6〕 C04B35/465 以碱土金属钛酸盐为基料的〔6〕 C04B35/468 以钛酸钡为基料的〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;4;6;8;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人	合肥工业大学	申请人地址	安徽省合肥市屯溪路193号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥工业大学	当前权利人	合肥工业大学
发明人	石敏;钟家刚;许育东;王雷
代理机构	安徽省合肥新安专利代理有限责任公司	代理人	何梅生

摘要

一种无铅压电薄膜材料，其成分和化学式为(Ba0.9CaxSr0.1-x)(Ti0.87NbyFe0.13-y)O3的铌铁钛酸钡钙锶薄膜材料，式中0＜x＜0.1，0＜y＜0.13。本材料由改进的溶胶-凝胶法制备溶胶，溶胶通过旋涂工艺成膜并经退火处理得到。本材料压电系数d33达320pC/N，此外还具有低漏电流、表面致密、没有微裂纹且晶粒尺寸大小均匀和强电滞效应等优点，本发明对铁电薄膜在微电子领域中的应用具有重大意义。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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