电气膜体的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310407995.9
IPC分类号：H05K1/16;H05K3/46
申请日期：
2013-09-09
申请人：
日本麦可罗尼克斯股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	电气膜体的制造方法
申请号	CN201310407995.9	申请日期	2013-09-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103687298A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05K1/16 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05K 印刷电路；电设备的外壳或结构零部件；电气元件组件的制造（其他类目不包括的仪器零部件或其他设备的类似零部件入G12B；薄膜或厚膜电路入H01L 27/01，H01L 27/13；用于对印刷电路或印刷电路之间的电连接的非印刷方法入H01R；用于特殊类型设备的外壳或其结构零部件，见有关小类；仅包括单一工艺的加工方法，例如已列入其他类目的加热、喷射，见有关的类） H05K1/00 印刷电路（多个单个半导体器件或固态器件的组装件入H01L 25/00；由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件，例如集成电路，薄膜或厚膜电路，入H01L 27/00） H05K1/16 含有印制电元件的，例如印制电阻、印制电容、印制电感	IPC分类号	H;0;5;K;1;/;1;6;;;H;0;5;K;3;/;4;6查看分类表>
申请人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司	申请人地址	日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6番8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司	当前权利人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司
发明人	菅井孝安;小田部昇
代理机构	上海市华诚律师事务所	代理人	肖华

摘要

本发明的电气膜体的制造方法以短时间高效率且高精度地形成薄膜电阻等元件。该电气膜体的制造方法是将膜体形成为符合所希望的电气特性的形状的电气膜体的制造方法，其具有以下工序：在基板层上形成电气膜体的成膜工序，测量在该成膜工序中成膜的电气膜体的面内的电气特性的电气特性测量工序；基于在该电气特性测量工序中测量到的电气特性设定电气膜体的形状的电气膜体形状设定工序，以及形成在该电气膜体形状设定工序中所设定的形状的电气膜体的电气膜体形成工序。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供