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制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680021814.7
  • IPC分类号:G01P15/125;G01P15/18
  • 申请日期:
    2006-06-13
  • 申请人:
    VTI技术有限公司
著录项信息
专利名称制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器
申请号CN200680021814.7申请日期2006-06-13
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2008-06-11公开/公告号CN101198874
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/125IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;G;0;1;P;1;5;/;1;8查看分类表>
申请人VTI技术有限公司申请人地址
芬兰万塔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人穆拉塔电子有限公司当前权利人穆拉塔电子有限公司
发明人H·凯斯马
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人曾祥夌;刘华联
摘要
本发明涉及用于测量加速度的测量装置,更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法,并且提供一种电容式加速度传感器,其适合于在小型电容式加速度传感器方案中使用,并且特别适合于在测量关于若干条轴线的加速度的小型和极薄的电容式加速度传感器方案中使用。

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