绘制装置和半导体器件的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410169262.0
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/304;G03F7/20
申请日期：
2014-04-25
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	绘制装置和半导体器件的制造方法
申请号	CN201410169262.0	申请日期	2014-04-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-11-05	公开/公告号	CN104134605A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;3;0;4;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	村木真人;平田吉洋
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	罗银燕

摘要

本发明提供一种绘制装置和物品的制造方法，所述绘制装置用于利用带电粒子束在基板上执行绘制，包括：台架，被配置为保持所述基板并且被移动；带电粒子光学系统，被配置为照射沿着第一轴排列的多个带电粒子束；以及控制器，被配置为控制绘制，以便利用所述多个带电粒子束对基板上的目标部分执行多次照射，其中，所述控制器被配置为控制绘制，使得相对于基板上沿着所述第一轴形成的多个区域所述台架沿着所述第一轴在一个方向上移动，并且相对于所述多个区域中的每一个上的绘制执行对于带电粒子束沿着所述第一轴的移位的带电粒子束的偏转。

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