具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器

发明专利有效专利

申请号：
CN202210985730.6
IPC分类号：H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02
申请日期：
2022-08-17
申请人：
北京航天微电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器
申请号	CN202210985730.6	申请日期	2022-08-17
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-22	公开/公告号	CN115378395A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/02 零部件〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;5;6;;;H;0;3;H;9;/;5;8;;;H;0;3;H;3;/;0;2查看分类表>
申请人	北京航天微电科技有限公司	申请人地址	北京市海淀区永定路50号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航天微电科技有限公司	当前权利人	北京航天微电科技有限公司
发明人	闫鑫;张智欣;陈长娥
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	牟森

摘要

本发明涉及薄膜体声波谐振器技术领域，尤其涉及一种具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器，包括依次层叠设置的支撑衬底、导热层、第一电极层、压电层、第二电极层和钝化层，第一局部电极层和导热层连接有第一导电焊盘，且第一导电焊盘延伸至支撑衬底之外，第二局部电极层和导热层连接有第二导电焊盘，且第二导电焊盘延伸至支撑衬底之外，导热层连接有导热焊盘，且导热焊盘延伸至支撑衬底之外。通过第一导电焊盘、第二导电焊盘和导热焊盘能够及时将薄膜体声波谐振器产生的热量导出至支撑衬底之外，增强薄膜体声波谐振器的散热能力，由此实现了一种具有良好散热特性的薄膜体声波谐振器。

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