多层喷淋板安装工装结构及安装方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510695499.7
IPC分类号：B25B27/00
申请日期：
2015-10-22
申请人：
沈阳拓荆科技有限公司

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著录项信息

专利名称	多层喷淋板安装工装结构及安装方法
申请号	CN201510695499.7	申请日期	2015-10-22
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-03	公开/公告号	CN106607789A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25B27/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25B 不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备 B25B27/00 不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备（简单装配或分离金属零件或物品的机械入B23P 19/00）	IPC分类号	B;2;5;B;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	沈阳拓荆科技有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沈阳拓荆科技有限公司	当前权利人	沈阳拓荆科技有限公司
发明人	郑旭东
代理机构	沈阳维特专利商标事务所（普通合伙）	代理人	甄玉荃;霍光旭

摘要

多层喷淋板安装工装结构及安装方法，主要解决现有技术中多层喷淋板无专用拆卸、安装工装的问题。该工装包括上平板、台阶式导向套及下平板。所述下平板上设有四根导向柱，导向柱与台阶式导向套过渡配合。所述台阶式导向套安装到上平板的安装孔中，并采用过渡配合的方式。同理，将导向柱与下平板采用相同的方法安装在一起，且上平板与下平板的安装孔中心距一致。安装方法：将多层喷淋板外层部分固定在下平板上，将多层喷淋板第二层固定在上平板上，利用台阶式导向套与四根导向柱的滑动导向保证两个部件之间安装时的同心、平行、平稳、无接触、无摩擦等要求。本发明适用于双层或双层以上结构的喷淋板，操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

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