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低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03103124.2
  • IPC分类号:G01N35/10;F04B19/24;B81B3/00
  • 申请日期:
    2003-01-30
  • 申请人:
    财团法人工业技术研究院
著录项信息
专利名称低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置
申请号CN03103124.2申请日期2003-01-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-08-18公开/公告号CN1521500
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N35/10IPC分类号G;0;1;N;3;5;/;1;0;;;F;0;4;B;1;9;/;2;4;;;B;8;1;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人财团法人工业技术研究院申请人地址
台湾省新竹县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人财团法人工业技术研究院当前权利人财团法人工业技术研究院
发明人庄世玮;钟震桂;陈仲竹
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人楼仙英;潘培坤
摘要
本发明涉及一种低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置,是结合流体结构和热气泡薄膜式致动器;流体结构包含流体通道,流体填注于流体通道当中并经由流体通道的开口进出,以及,热气泡薄膜式致动器是在弹性薄膜所形成的密闭液室底部设置加热片所组成,密闭液室是通过弹性薄膜隔离于流体通道并填充有低沸点液体;其动作方式为利用加热片加热低沸点液体以产生气泡,推动弹性薄膜以类似横隔膜的方式运动来驱动流体。

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