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具有单一平面天线的电感耦合双区域处理室

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880022326.7
  • IPC分类号:H01L21/3065H05H1/46
  • 申请日期:
    2008-06-24
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称具有单一平面天线的电感耦合双区域处理室
申请号CN200880022326.7申请日期2008-06-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-06-02公开/公告号CN101720500A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3065
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IPC结构图谱:
IPC分类号H01L21/3065;H05H1/46查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人桑凯特·P·圣
代理机构上海胜康律师事务所代理人周文强;李献忠
摘要
提供一种双区域等离子体处理室。该等离子体处理室包括具有适于在该处理室中支撑第一衬底的第一支撑表面的第一衬底支柱和具有适于在该处理室中支撑第二衬底的第二支撑表面的第二衬底支柱。流体连通于一个或多个气体分配构件的一个或多个气体源向毗邻该第一衬底支柱的第一区域和毗邻该第二衬底支柱的第二区域供应处理气体。适于将射频能量电感耦合到该处理室内部并将该处理气体在该第一和第二区域中激励到等离子态的射频(RF)天线。该天线位于该第一衬底支柱和该第二衬底支柱之间。

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