一种气体传感器及其制造工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN201110366861.8
IPC分类号：G01N27/00;B81C1/00
申请日期：
2011-11-18
申请人：
南京工业大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种气体传感器及其制造工艺
申请号	CN201110366861.8	申请日期	2011-11-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-04-25	公开/公告号	CN102426176A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	南京工业大学	申请人地址	江苏省南京市中山北路200号41号信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京工业大学	当前权利人	南京工业大学
发明人	殷晨波;张子立;朱斌;陶春旻;董宁宁;杨柳
代理机构	江苏圣典律师事务所	代理人	胡建华

摘要

本发明公开了一种气体传感器及其制造工艺，气体传感器包括硅基底、二氧化硅绝热截至层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有二氧化硅层，所述的二氧化硅层采用表面工艺加工成悬臂结构。二氧化硅层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组，电极组上表面设有二氧化锡层本发明工艺将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层，降低了制造复杂度，提高了成品率；将传感器二氧化硅层腐蚀，形成悬臂结构，减小热量的传输通道，使得传感器的功耗更低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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