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一种实现集成电路连线开路至短路转变的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810292083.4
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2018-04-03
  • 申请人:
    武汉新芯集成电路制造有限公司
著录项信息
专利名称一种实现集成电路连线开路至短路转变的方法
申请号CN201810292083.4申请日期2018-04-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-08-21公开/公告号CN108428639A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉新芯集成电路制造有限公司当前权利人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人王帆;吴启熙
代理机构上海申新律师事务所代理人俞涤炯
摘要
本发明提供一种实现集成电路连线开路至短路转变的方法,属于集成电路技术领域,包括:步骤S1、提供一待处理集成电路,所述待处理集成电路具有处于开路状态的两个待处理金属线;步骤S2、提供一测试线,将所述测试线部分置于两个所述待处理金属线之间,且与每个所述待处理金属线之间分别具有预设间隔;步骤S3、基于所述测试线进行电迁移测试,以使所述测试线中的预设原子在预设位置堆积形成金属凸起并挤压两侧的所述待处理金属线,以使两个所述待处理金属线由开路状态转为短路状态。本发明的有益效果:可以方便的对集成电路连线进行open to short的修改,具有非破坏性,快速,经济,样品量大,利于对测试结果进行统计分析等优点。

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