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激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110544560.3
  • IPC分类号:B41M3/00;B41J2/01;B41M1/22;B41J3/44;H01L31/18;H01L31/05;B23K26/362
  • 申请日期:
    2021-05-19
  • 申请人:
    东北大学
著录项信息
专利名称激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置
申请号CN202110544560.3申请日期2021-05-19
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-27公开/公告号CN113306320A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B41M3/00IPC分类号B;4;1;M;3;/;0;0;;;B;4;1;J;2;/;0;1;;;B;4;1;M;1;/;2;2;;;B;4;1;J;3;/;4;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;5;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2查看分类表>
申请人东北大学申请人地址
辽宁省沈阳市浑南区创新路195号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东北大学当前权利人东北大学
发明人张磊;王修琨;李朋朋;刘力;靳忠尚
代理机构沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人孙奇
摘要
本发明公开一种激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置,第一步,利用激光技术对SiNx膜进行原位开膜形成微凹槽;第二步,利用喷墨打印技术将金属墨水注入微凹槽;第三步,调节激光功率、离焦量、扫描频度以及扫描速度参量,进而确定与膜层微凹槽的定量关系,实现膜层微凹槽的优化与精确控制,保证金属墨水准确注入微凹槽内,加热形成太阳电池金属栅极。通过在喷墨打印前预先对基材进行激光原位开膜,保证了太阳电池栅线电极超细、大“高宽比”的要求,避免在待喷金属墨水中加入玻璃粉的复杂工艺,提高了打印质量,提升了打印效率,降低了打印成本。采用交叉打印方法,使打印出的栅极更加均匀,极大程度的提高了打印精度。

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