真空计校准装置及校准方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110578312.0
IPC分类号：G01L27/00
申请日期：
2021-05-26
申请人：
北京东方计量测试研究所

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著录项信息

专利名称	真空计校准装置及校准方法
申请号	CN202110578312.0	申请日期	2021-05-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-27	公开/公告号	CN113310626A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L27/00	IPC分类号	G;0;1;L;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	北京东方计量测试研究所	申请人地址	北京市海淀区知春路82号1001室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京东方计量测试研究所	当前权利人	北京东方计量测试研究所
发明人	卢耀文;柏向春;闫睿;董云宁;田虎林;魏萌萌;杨振
代理机构	北京谨诚君睿知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	延慧;武丽荣

摘要

本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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