静电电容型压力传感器及输入装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201380074227.4
IPC分类号：G01L1/14;G01L5/00;G06F3/044;H01L29/84
申请日期：
2013-12-05
申请人：
欧姆龙株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	静电电容型压力传感器及输入装置
申请号	CN201380074227.4	申请日期	2013-12-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-10-28	公开/公告号	CN105008879A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/14 通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;4;;;G;0;1;L;5;/;0;0;;;G;0;6;F;3;/;0;4;4;;;H;0;1;L;2;9;/;8;4查看分类表>
申请人	欧姆龙株式会社	申请人地址	日本京都府京都市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	欧姆龙株式会社	当前权利人	欧姆龙株式会社
发明人	井上胜之;奥野敏明
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	金相允

摘要

在固定电极(32)的上表面形成电介质层(33)。通过使电介质层(33)的上表面向下方凹陷，从而在电介质层(33)的上表面形成凹槽(33a)。凹槽(33a)的底面被电介质层(33)覆盖。在电介质层(33)的表面层叠上基板(35a)以覆盖凹槽(33a)。通过上基板(35a)的一部分，即位于凹槽(33a)的上方的区域，来形成呈薄膜状的导电性膜片(35)。在膜片(35)的上表面中央部设置突起(39)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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