一种等离子体源装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110148922.3
IPC分类号：H05H1/46
申请日期：
2011-06-03
申请人：
深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种等离子体源装置
申请号	CN201110148922.3	申请日期	2011-06-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-11-28	公开/公告号	CN102802337A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市南山区高新区中区高新中一道9号软件大厦变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳光启高等理工研究院,深圳光启创新技术有限公司	当前权利人	深圳光启高等理工研究院,深圳光启创新技术有限公司
发明人	刘若鹏;季春霖;岳玉涛;尹小明
代理机构	深圳中一专利商标事务所	代理人	张全文

摘要

本发明公开了一种等离子体源装置，包括：微波发生器、超材料以及等离子生成器，所述的微波发生器、超材料以及等离子生成器顺序相设置，所述的微波发生器用于产生微波；所述的超材料用于将所述的微波发生器发出的微波进行调制成能与所述的等离子发生器发生谐振的微波至等离子生成器，所述的等离子体生成器用于生成等离子体。本发明提供的等离子体源装置体积小、简单、易于实现、成本低、具有广泛的应用前景。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供