带电粒子束装置、以及用于操作带电粒子束装置的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910639410.3
IPC分类号：H01J37/26;H01J37/28
申请日期：
2019-07-16
申请人：
ICT集成电路测试股份有限公司

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著录项信息

专利名称	带电粒子束装置、以及用于操作带电粒子束装置的方法
申请号	CN201910639410.3	申请日期	2019-07-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-01-24	公开/公告号	CN110729163A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/26 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/26 电子或离子显微镜；电子或离子衍射管〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;6;;;H;0;1;J;3;7;/;2;8查看分类表>
申请人	ICT集成电路测试股份有限公司	申请人地址	德国巴伐利亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ICT集成电路测试股份有限公司	当前权利人	ICT集成电路测试股份有限公司
发明人	本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;吴启超

摘要

描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置包括：用于所述第一子束的至少第一消隐偏转器和用于所述第二子束的第二消隐偏转器；以及屏蔽组件，所述屏蔽组件具有部分地或完全地包围所述第一消隐偏转器的第一屏蔽元件。

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