管理衬底处理装置的装置信息的方法及衬底处理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN02130372.X
IPC分类号：--
申请日期：
2002-07-05
申请人：
大日本屏影象制造株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	管理衬底处理装置的装置信息的方法及衬底处理系统
申请号	CN02130372.X	申请日期	2002-07-05
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2003-02-12	公开/公告号	CN1396625
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	大日本屏影象制造株式会社	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大日本屏影象制造株式会社	当前权利人	大日本屏影象制造株式会社
发明人	北本彻;龟井谦治;井上秀和;滨田哲也
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	王岳;叶恺东

摘要

一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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