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镀膜设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202210959992.5
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2022-08-11
  • 申请人:
    江苏微导纳米科技股份有限公司
著录项信息
专利名称镀膜设备
申请号CN202210959992.5申请日期2022-08-11
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-15公开/公告号CN115341195A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人江苏微导纳米科技股份有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区漓江路11号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏微导纳米科技股份有限公司当前权利人江苏微导纳米科技股份有限公司
发明人左敏;严大;黎微明;李翔
代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张庆玲
摘要
本申请涉及机械设备技术领域,提供一种镀膜设备。镀膜设备包括包括内壳体、喷淋板。内壳体的一端具有开口。内壳体内具有第一气体流道,第一气体流道的出气口位于内壳体的侧壁上,用于将气体通过所述第一气体流道的出气口输出至内壳体内。喷淋板的喷淋孔向内壳体内输出气体。本申请能够从内壳体的侧壁上向内壳体内输出气体。

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