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真空设备的抽气装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720059168.5
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2007-11-05
  • 申请人:
    苏贵方
著录项信息
专利名称真空设备的抽气装置
申请号CN200720059168.5申请日期2007-11-05
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人苏贵方申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人肇庆市大力真空设备有限公司当前权利人肇庆市大力真空设备有限公司
发明人苏贵方
代理机构广州三环专利代理有限公司代理人郝传鑫;张艳美
摘要
本实用新型公开了一种真空设备的抽气装置,使真空设备的真空室形成并维持真空状态,其包括真空管道、粗抽排气系统、放气阀及负压站系统,粗抽排气系统通过真空管道与真空室连通,包括依次串联于真空管道上粗抽阀及粗抽泵,放气阀一端通过真空管道分别与真空室和粗抽排气系统连通,另一端与外界相通,负压站系统包括负压站阀及密闭的负压站室,负压站阀一端与粗抽泵和粗抽阀连通,另一端与负压站室连通。由于增加了负压站系统,使得当对真空室进行抽气时一部分气体经负压站阀窜到真空室里,则无需抽到户外缩短了时间,装卸工件时粗抽泵对负压站室抽气使之具备一定的真空状态,不至于空载运转而节约电能,且减轻对粗抽泵的负载,提高了生产率。

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