一种c面蓝宝石的刻蚀方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510013477.8
IPC分类号：C30B33/10
申请日期：
2015-01-12
申请人：
上海应用技术学院

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著录项信息

专利名称	一种c面蓝宝石的刻蚀方法
申请号	CN201510013477.8	申请日期	2015-01-12
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-05-27	公开/公告号	CN104651948A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0查看分类表>
申请人	上海应用技术学院	申请人地址	上海市徐汇区漕宝路120号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西双版纳承启科技有限公司,上海应用技术大学	当前权利人	西双版纳承启科技有限公司,上海应用技术大学
发明人	邹军;房永征;李龙
代理机构	上海申汇专利代理有限公司	代理人	吴宝根;马文峰

摘要

本发明公开一种c面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将c面蓝宝石在25℃的由氢氟酸和水组成的混合液中保持20min后取出，依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经氢氟酸处理后的c面蓝宝石；然后将经氢氟酸处理后的c面蓝宝石在温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min后自然冷却，取出c面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，得经混合酸处理后的c面蓝宝石；最后将所得的经混合酸处理后的c面蓝宝石放入到温度325‑340℃的片状NaOH融化液中保持10min后，取出c面蓝宝石再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了c面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法具有刻蚀效果好，均匀性好，品质良好，良率高等优点。

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