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等离子体处理装置和等离子体处理方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810213981.2
  • IPC分类号:H01L21/314H01L21/318
  • 申请日期:
    2003-11-20
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称等离子体处理装置和等离子体处理方法
申请号CN200810213981.2申请日期2003-11-20
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2009-04-22公开/公告号CN101414560
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/314
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IPC结构图谱:
IPC分类号H01L21/314;H01L21/318查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本国*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人中西敏雄;西田辰夫;尾崎成则
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明涉及等离子体处理装置和等离子体处理方法。根据本发明,当氮化处理基板表面时,在等离子体产生部和基板之间配置具有开口部的隔板,将基板表面的气体流速控制为1e-2(m·sec-1)~1e+1(m·sec-1),并将基板表面的等离子体的电子密度控制为1e+7(个·cm-3)~1e+9(个·cm-3)。根据本发明,有效地抑制了基板和氮化膜的劣化。

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