一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920540834.X
IPC分类号：B24C9/00
申请日期：
2019-04-19
申请人：
富乐德科技发展（大连）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具
申请号	CN201920540834.X	申请日期	2019-04-19
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24C9/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24C 磨料或微粒材料的喷射 B24C9/00 磨料喷射机或装置的附件，如工作室，用过的磨料的处理装置	IPC分类号	B;2;4;C;9;/;0;0查看分类表>
申请人	富乐德科技发展（大连）有限公司	申请人地址	辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富乐德科技发展（大连）有限公司	当前权利人	富乐德科技发展（大连）有限公司
发明人	李泓波;朱光宇;陈智慧;张正伟;贺贤汉
代理机构	大连智高专利事务所（特殊普通合伙）	代理人	盖小静

摘要

一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具，属于洗净喷砂保护治具领域。包括主体、搬运把手、沟槽、底座孔、定位槽A、定位槽B和密封硅胶条；所述主体上设置圆柱形的定位槽B，定位槽B下方设置圆柱形的定位槽A，定位槽A底面设置环状的沟槽和底座孔，沟槽环绕底座孔；密封硅胶条为环状结构并设置在定位槽B内；主体的侧面上设置有搬运把手。本实用新型的结构契合部品，对部品进行洗净喷砂作业可以保证作业精度，并且不会使部品表面产生残胶污垢等，本实用新型可以重复利用降低生产成本，使部品不良率大大降低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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