一种晶圆片厚度分选方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110491939.2
IPC分类号：B07C5/04;B07C5/36;B07C5/38
申请日期：
2021-05-06
申请人：
上海大族富创得科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆片厚度分选方法
申请号	CN202110491939.2	申请日期	2021-05-06
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113351514A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B07C5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B07 将固体从固体中分离；分选 B07C 邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选（专门适用于特定用途的并已包含在其他类的，参看有关的类，如A43D 33/06、B23Q 7/12） B07C5/00 按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选（仅用手工的分选入B07C 7/00；用筛，过滤，筛选或用气流或适用于散装材料的其他干式分离法将固体从固体中分离入B07B；硬币的分选入G07D）〔3〕 B07C5/04 根据大小来分选	IPC分类号	B;0;7;C;5;/;0;4;;;B;0;7;C;5;/;3;6;;;B;0;7;C;5;/;3;8查看分类表>
申请人	上海大族富创得科技有限公司	申请人地址	上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大族富创得科技有限公司	当前权利人	上海大族富创得科技有限公司
发明人	吴功;产文兵
代理机构	上海乐泓专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王瑞

摘要

本发明的一种晶圆片厚度分选方法，将厚度检测后的晶圆片进行分选存储，存储设备在存放并输送晶圆的输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器，设有驱动电机用于驱动输送带，当存储设备存储完成后将其中的晶圆片进行搬运时，驱动电机驱动输送带带动晶圆上升，当顶部传感器检测到输送带顶部有晶圆时，顶部传感器发送中断信号给驱动电机，驱动电机停止转动使得晶圆保持在设定高度，此时机械手将顶部的晶圆取走，不断循环完成转移。通过以上的每次晶圆触发顶部传感器发出中断信号使得传送带立即停止，保证晶圆举升高度的一致性。

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