石英腔体的清洗装置及清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610356861.2
IPC分类号：B08B9/08
申请日期：
2016-05-25
申请人：
上海新昇半导体科技有限公司

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著录项信息

专利名称	石英腔体的清洗装置及清洗方法
申请号	CN201610356861.2	申请日期	2016-05-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-12-05	公开/公告号	CN107433275A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B9/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B9/00 用专门的方法或设备清洁空心物品（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B9/08 清洗容器，如槽的清洗	IPC分类号	B;0;8;B;9;/;0;8查看分类表>
申请人	上海新昇半导体科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区泥城镇云端路1412弄15号3层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海新昇半导体科技有限公司	当前权利人	上海新昇半导体科技有限公司
发明人	赵旭良;汪燕
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本发明提供了一种石英腔体的清洗装置及清洗方法，所述清洗装置包括包括一清洗腔，设置于清洗腔底部的进液口、排液口以及密封垫，在石英腔体的清洗过程中，所述密封垫与石英腔体的开口接触并密封所述开口，其中，所述进液口和排液口均位于所述开口在清洗腔底部的投影区域内。采用本发明提供的清洗装置对石英腔体进行清洗时，由于密封垫可密封石英腔体的开口，因此清洗液只通入于石英腔体的内部，从而可避免清洗液泄露出，确保石英腔体的外部不被清洗液所侵蚀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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