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半导体装置及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210545982.3
IPC分类号：H01L21/336;H01L21/768;H01L21/28;H01L29/78
申请日期：
2012-12-17
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体装置及其制造方法
申请号	CN201210545982.3	申请日期	2012-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-18	公开/公告号	CN103871882A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/336 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕 H01L21/04 至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层〔2〕 H01L21/18 器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料〔2，6，7〕 H01L21/334 制造单极型器件的台阶式工艺〔5〕 H01L21/335 场效应晶体管〔5〕 H01L21/336 带有绝缘栅的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	曹国豪;蒲贤勇;汪铭;程勇;宋慧芳
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	刘倜

摘要

本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。所述半导体装置包括：衬底，所述衬底包括有源区和与所述有源区邻接的至少一个沟槽隔离区；栅极结构，所述栅极结构位于所述有源区上；至少一个内部互连层，所述内部互连层位于所述衬底之上，且在所述栅极结构的侧面，并且所述内部互连层至少覆盖所述有源区的一部分和相应的沟槽隔离区的至少一部分。根据本公开，可以有效降低半导体装置的尺寸。

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