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制备无机或无机/有机杂化阻挡膜的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980132107.9
  • IPC分类号:C23C14/12;C23C14/20
  • 申请日期:
    2009-06-29
  • 申请人:
    3M创新有限公司
著录项信息
专利名称制备无机或无机/有机杂化阻挡膜的方法
申请号CN200980132107.9申请日期2009-06-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-07-13公开/公告号CN102124137A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/12IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;1;2;;;C;2;3;C;1;4;/;2;0查看分类表>
申请人3M创新有限公司申请人地址
美国明尼苏达州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人3M创新有限公司当前权利人3M创新有限公司
发明人克拉克·I·布莱特;克里斯托弗·S·莱昂斯
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人张爽;樊卫民
摘要
本发明提供了在基底上形成无机或杂化有机/无机阻挡层的方法,其包括使汽化的金属醇化物凝结从而在所述基底的上方形成层,并且将所述凝结的金属醇化物层与水接触以使得所述的层固化。

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