具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201710601373.8
IPC分类号：G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663
申请日期：
2017-07-21
申请人：
安徽北方芯动联科微系统技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪
申请号	CN201710601373.8	申请日期	2017-07-21
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2017-11-17	公开/公告号	CN107356240A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5649 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5642 使用振动条或振动梁〔2012.01〕 G01C19/5649 信号处理〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;4;9;;;G;0;1;C;1;9;/;5;6;5;6;;;G;0;1;C;1;9;/;5;6;6;3查看分类表>
申请人	安徽北方芯动联科微系统技术有限公司	申请人地址	安徽省蚌埠市财院路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽芯动联科微系统股份有限公司	当前权利人	安徽芯动联科微系统股份有限公司
发明人	华亚平
代理机构	蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司	代理人	王琪;王玲霞

摘要

本发明公开了一种具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪，属于传感器芯片设计技术领域，具体是将MEMS陀螺仪的两个可动质量块通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上，两个可动质量块沿Y轴方向对称分布，驱动频率调节电极的固定电极部分制作在紧邻质量块锚点的调节电极锚点上，驱动频率调节电极的可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧，可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容，这样就减少了衬底不对称形变对质量块锚点与驱动电极锚点间距的影响，也就是稳定了驱动频率调节静电力，改进MEMS陀螺仪性能，提高了MEMS陀螺仪在不同温度下、不同应力环境中的稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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