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硅片运载装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110209304.5
IPC分类号：H01L21/677;B65G21/22
申请日期：
2011-07-25
申请人：
浙江思博恩新材料科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅片运载装置
申请号	CN201110209304.5	申请日期	2011-07-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-01-30	公开/公告号	CN102897488A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;2;1;/;2;2查看分类表>
申请人	浙江思博恩新材料科技有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇万泰路158号1幢三层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江昱辉阳光能源有限公司,浙江昱辉节能技术有限公司	当前权利人	浙江昱辉阳光能源有限公司,浙江昱辉节能技术有限公司
发明人	刘琴
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	逯长明

摘要

本发明提供了一种硅片运载装置，包括：设置有轨道的支撑架(1)，所述轨道(12)上设置有轮槽(121)；和位于所述支撑架(1)上，且设置有与所述轮槽(121)滚动配合的硅胶滚轮(22)的承载小车。本发明提供的硅片运载装置减少了硅片在运输过程中的破损，进而降低了硅片生产厂家的生产成本。

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