触持阴极离子束刻蚀机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN96229574.4
IPC分类号：--
申请日期：
1996-04-02
申请人：
上海华洋工贸公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	触持阴极离子束刻蚀机
申请号	CN96229574.4	申请日期	1996-04-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	上海华洋工贸公司	申请人地址	上海市浦东杨高中路2709号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华洋工贸公司	当前权利人	上海华洋工贸公司
发明人	陈绍金
代理机构	上海市浦东专利事务所	代理人	陈志良;史良才

摘要

一种由机框、真空室、离子源、中和器、二件台、指示表头和电源源控制柜组成的触持阴极离子束刻蚀机,其特征在于离子源的触持阴极由阴极座(1)、阴极安装支座(2)、钽管(3)、发射体(4)、触持极(5)、引出极(6)组成,增设了电子分配挡板(7)、径向流量分配器(10),还增设了由屏栅极(19)和加速极(20)组成的束流匹配栅,中和器为等离子体桥中和器,本实用新型的离子源功耗低,寿命长、工艺参数稳定,可以在反应离子束刻蚀状态下顺利地工作,刻蚀室温度低,污染小,完全满足加工多种半导体器件的需要。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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