感应耦合等离子体质量分析仪

发明专利无效专利

申请号：
CN87104633.4
IPC分类号：--
申请日期：
1987-07-06
申请人：
株式会社岛津制作所

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	感应耦合等离子体质量分析仪
申请号	CN87104633.4	申请日期	1987-07-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	御石浩三
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	李强

摘要

本发明的感应耦合等离子体分析仪预先使静电屏蔽装置保持于接地电位，等离子体由于这种静电屏蔽，与感应线圈产生的电场屏蔽隔离，从而保持与静电屏蔽装置几乎相同的接地电位。因此所产生的离子的电压变化得以抑制，同时由等离子体取出的离子的能量也较低，且其能量范围也小，从而使质量分析仪的分辨率得到了改善。另外，在小孔间产生的收缩放电也受到抑制，从而防止了紫外线噪声的产生。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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