热处理装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02287391.0
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-25
申请人：
东京毅力科创株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	热处理装置
申请号	CN02287391.0	申请日期	2002-10-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	江嶋睦仁
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	杨松龄

摘要

一种热处理装置，包含具有在上下方向分割的3个区域的反应容器、支持基片的基片保持器具、在反应容器的侧方的每个区域设置的加热器和控制部。在各控制部连接检测各自承担的区域的温度的温度检测部。中段区域的温度检测部也连接到对应于上下段的控制部。上下段的控制部在基片保持器具搬入时，以根据中段区域的温度检测部的温度检测值作为温度目标值，基于该区域的温度检测值进行运算，输出加热器的控制信号。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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