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半导体结构及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110901712.0
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2021-08-06
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构及其形成方法
申请号CN202110901712.0申请日期2021-08-06
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-26公开/公告号CN113707607A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人李政衡;李宜静;张嘉德
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司代理人章社杲;李伟
摘要
本发明描述了一种半导体结构及其形成方法。该方法可包括在衬底上方形成鳍结构。该鳍结构可包括沟道层和所述沟道层与所述衬底之间的缓冲层。该方法可还包括在沟道层中形成凹槽结构。该凹槽结构可包括在缓冲层上方的底面。该方法可还包括在凹槽结构的底面上方形成第一外延层。该第一外延层可包括第一锗原子浓度。该方法可还包括在第一外延层上方形成第二外延层。该第二外延层可包括大于第一锗原子浓度的第二锗原子浓度。

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