一种半导体行业掺杂用复合浆料及固化成膜加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010716882.7
IPC分类号：C08J3/02;C08J3/11;C08L7/00;C08L9/00;C08L9/06;C08L1/28;C08L3/02;C08L29/04;C08L29/14;C08L75/04;C08K3/26;C08K3/38;C08K3/22;C08K5/55;C08K7/26;C08K3/02;C08J5/18;C02F1/04;H01L21/225
申请日期：
2020-07-23
申请人：
崔恩密;泗洪红芯半导体有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种半导体行业掺杂用复合浆料及固化成膜加工方法
申请号	CN202010716882.7	申请日期	2020-07-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-27	公开/公告号	CN111825853A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08J3/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08J 加工；配料的一般工艺过程；不包括在C08B，C08C，C08F，C08G或C08H小类中的后处理（塑料的加工，如成型入B29）〔2〕 C08J3/00 高分子物质的处理或配料的工艺过程〔2〕 C08J3/02 用溶液、乳液或悬浮聚合技术以外的方法制成的溶液、分散液或胶乳〔2〕	IPC分类号	C;0;8;J;3;/;0;2;;;C;0;8;J;3;/;1;1;;;C;0;8;L;7;/;0;0;;;C;0;8;L;9;/;0;0;;;C;0;8;L;9;/;0;6;;;C;0;8;L;1;/;2;8;;;C;0;8;L;3;/;0;2;;;C;0;8;L;2;9;/;0;4;;;C;0;8;L;2;9;/;1;4;;;C;0;8;L;7;5;/;0;4;;;C;0;8;K;3;/;2;6;;;C;0;8;K;3;/;3;8;;;C;0;8;K;3;/;2;2;;;C;0;8;K;5;/;5;5;;;C;0;8;K;7;/;2;6;;;C;0;8;K;3;/;0;2;;;C;0;8;J;5;/;1;8;;;C;0;2;F;1;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;5查看分类表>
申请人	崔恩密;泗洪红芯半导体有限公司	申请人地址	江苏省扬州市邗江区荷叶西路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	崔恩密,泗洪红芯半导体有限公司	当前权利人	崔恩密,泗洪红芯半导体有限公司
发明人	崔恩密;王毅;崔乐珅
代理机构	扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	周全

摘要

一种半导体行业掺杂用复合浆料及固化成膜加工方法。本发明属于高分子材料领域，尤其涉及半导体行业掺杂用复合浆料及后续固化成型制作方法。本发明一种半导体行业掺杂用复合浆料的固化成膜加工方法，将所述掺杂用复合浆料采用湿法造纸设备加工，其特征在于，在投入所述湿法造纸设备之前，对所述掺杂用复合浆料进行水洗，所述水洗采用去离子水或超纯水。本发明的复合浆料及其成型膜，硬度适中，强度适中，掺杂均匀一致，在国内著名半导体厂家和进口产品做平行对比试验，皆满足产品良率大于99.999%的苛刻指标要求。对实现该类产品进口替代，摆脱对国外进口产品的依赖，起到积极意义。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供