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一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910505783.1
  • IPC分类号:G01N23/2202;G01N23/2005;G01N1/28
  • 申请日期:
    2019-06-12
  • 申请人:
    苏试宜特(上海)检测技术有限公司
著录项信息
专利名称一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法
申请号CN201910505783.1申请日期2019-06-12
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-12-15公开/公告号CN112083022A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N23/2202IPC分类号G;0;1;N;2;3;/;2;2;0;2;;;G;0;1;N;2;3;/;2;0;0;5;;;G;0;1;N;1;/;2;8查看分类表>
申请人苏试宜特(上海)检测技术有限公司申请人地址
上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏试宜特(上海)检测技术有限公司当前权利人苏试宜特(上海)检测技术有限公司
发明人蔡齐航;谢亚珍;郭语柔
代理机构上海唯源专利代理有限公司代理人曾耀先
摘要
本发明的一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法,包括步骤:将平面样品放入透射电子显微镜中观察,并记录平面样品上的特定微小区域的位置信息;根据记录的位置信息对对平面样品进行金属线性沉积,于平面样品上形成线性路径;将带有线性路径的平面样品放入透射电子显微镜中,观察线性路径是否落入特定微小区域内:若是,则以该线性路径作为将平面样品转截面样品时的执行位置;若不是,则再次对所述平面样品进行所述金属线性沉积,直至有所述线性路径落入所述特定微小区域内为止。本发明弥补了扫描式电子显微镜分辨率不高的缺点,可以对特定微小区域进行精准的定位,避免了误认盲切,能够得到符合要求的截面样品。

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