一种液晶显示器用蚀刻液的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510786900.8
IPC分类号：C23F1/26
申请日期：
2015-11-16
申请人：
无锡英普林纳米科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种液晶显示器用蚀刻液的制备方法
申请号	CN201510786900.8	申请日期	2015-11-16
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-03	公开/公告号	CN105297018A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/26 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/10 蚀刻用组合物（C23F 1/44优先）〔4〕 C23F1/14 含水组合物〔4〕 C23F1/16 酸性组合物（C23F 1/42优先）〔4〕 C23F1/26 蚀刻难熔金属用的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;2;6查看分类表>
申请人	无锡英普林纳米科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡英普林纳米科技有限公司	当前权利人	无锡英普林纳米科技有限公司
发明人	王晶;肖延安;杨彦清;赵敏洁
代理机构	北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	黄冠华

摘要

本发明公布了一种液晶显示器用蚀刻液的制备方法，其中，所述蚀刻液包括以下重量百分比的组合物：硝酸铈铵0.5％～2.3％；邻氟苯甲酸0.2％～1.8％；正戊酸1.2％～2.6％；碘酸1.2％～2.6％；有机盐酸1.5％～2.3％；非离子表面活性剂2.5％～3.3％；消泡剂1.5％～2.6％；其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了添加硝酸铈铵、邻氟苯甲酸、正戊酸、碘酸、有机盐酸，不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供