石英外管保护装置及炉管

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320094042.7
IPC分类号：C23C16/44;C23C16/24
申请日期：
2013-03-01
申请人：
中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

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著录项信息

专利名称	石英外管保护装置及炉管
申请号	CN201320094042.7	申请日期	2013-03-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/44 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;2;4查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	沈建飞;任瑞龙
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型公开了一种炉管，包括石英外管和石英外管保护装置，所述石英外管保护装置包括：碳化硅保护盖、碳化硅保护盖支架以及外管底部支架，所述碳化硅保护盖通过外管底部支架安装于所述石英外管的底部内侧壁上，所述碳化硅保护盖支架安装于所述外管底部支架上，所述碳化硅保护盖支架能够将所述外管底部支架遮蔽。本实用新型利用碳化硅和多晶硅薄膜相近的热膨胀系数，可以减少应力，从而防止多晶硅薄膜渗透进石英外管的内侧壁内并淀积于其中，从而保护石英外管的底部区域不受损伤，进而，不但可以延长石英外管的使用寿命，而且可以减小机台微粒偏高的风险。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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