花篮式气浮硅片自动分离机构

发明专利有效专利

申请号：
CN201110216105.7
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/677
申请日期：
2011-07-30
申请人：
太原风华信息装备股份有限公司

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著录项信息

专利名称	花篮式气浮硅片自动分离机构
申请号	CN201110216105.7	申请日期	2011-07-30
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-12-28	公开/公告号	CN102299049A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	太原风华信息装备股份有限公司	申请人地址	山西省太原市万柏林区和平南路115号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中电科风华信息装备股份有限公司	当前权利人	中电科风华信息装备股份有限公司
发明人	李强;郑海红;李向东;魏海滨;赵建军;张素枝;任剑;朱跃红
代理机构	山西科贝律师事务所	代理人	陈奇

摘要

本发明公开了一种花篮式气浮硅片自动分离机构，解决了硅片分离速度低和传送硅片时碎片率高的问题。包括PLC、花篮导轨（1）和花篮（2），在花篮（2）的两侧分别设置有气浮硅片自动分离部件（4），它包括立柱架体（6）、倒T字形连接架（7）、T字形连接架（8）和门字形平躺架（9），T字形连接架（8）可升降；在T字形连接架（8）的横梁上沿水平前后方向分别设置有门字形平躺架体（9）的两个水平竖梁导轨（13），在竖梁导轨（13）上设置有水平方向的横向长条孔实现门字形平躺架（9）在水平方向上的前后移动，在门字形平躺架（9）的横梁通气轴（15）上活动设置有可转动的气浮块（16），实现硅片传送的高效自动化作业。

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