电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820042079.4
IPC分类号：H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/3065
申请日期：
2008-08-07
申请人：
苏州汉申微电子有限公司

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专利名称	电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
申请号	CN200820042079.4	申请日期	2008-08-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01F5/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01F 磁体；电感；变压器；磁性材料的选择〔2〕 H01F5/00 线圈（超导线圈入H01F 6/06；信号类型的固定电感器入H01F 17/00）	IPC分类号	H;0;1;F;5;/;0;0;;;H;0;1;F;3;8;/;1;4;;;H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;5;H;1;/;5;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人	苏州汉申微电子有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区玉山路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州汉申微电子有限公司	当前权利人	苏州汉申微电子有限公司
发明人	刘宏;刘晓晗;袁洁静
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	马明渡

摘要

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种电感耦合等离子体装置(ICP)以及用于该装置中的电感耦合线圈。该装置包括反应室(10)、工作台(11)、电感耦合线圈、电感射频匹配器(12)以及电感射频电源(13)，其特征在于：电感耦合线圈设在反应室(10)内，且位于工作台(11)上方；电感耦合线圈由两组相同的平面栅形线圈(1)并联且对称布置构成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)。本实用新型磁场分布均匀性好、效率高、对基片表面损伤更小，适合于大面积薄膜沉积、刻蚀以及表面处理等半导体加工工艺。

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