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一种采用磁控溅射及真空热处理制备耐酸碱纳米哈氏合金涂层的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510811497.X
  • IPC分类号:C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58
  • 申请日期:
    2015-11-20
  • 申请人:
    江苏尚大海洋工程技术有限公司
著录项信息
专利名称一种采用磁控溅射及真空热处理制备耐酸碱纳米哈氏合金涂层的方法
申请号CN201510811497.X申请日期2015-11-20
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2016-02-17公开/公告号CN105331930A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/14IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8查看分类表>
申请人江苏尚大海洋工程技术有限公司申请人地址
江苏省南通市港闸区国强路99号鹏远产业园4幢3楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏尚大海洋工程技术有限公司当前权利人江苏尚大海洋工程技术有限公司
发明人张俊喜;钟庆东;吴世权;史茜;舒明勇;韩洪波
代理机构上海泰能知识产权代理事务所代理人黄志达
摘要
本发明涉及一种采用磁控溅射及真空热处理制备耐酸碱纳米哈氏合金涂层的方法,磁控溅射制备纳米C‑276哈氏合金涂层;将上述制备的纳米C‑276哈氏合金涂层进行超声清洗,然后进行真空热处理,冷却处理,即得。本发明方法工艺简单,效果明显,对环境无污染,且本发明结合磁控溅射纳米C‑276哈氏合金涂层的制备方法,可制备加工出耐酸碱腐蚀性能级高的涂层。

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