一种基于动态派工的半导体制造方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110196877.2
IPC分类号：G05B19/418
申请日期：
2021-02-22
申请人：
同济大学

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专利名称	一种基于动态派工的半导体制造方法及系统
申请号	CN202110196877.2	申请日期	2021-02-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-02	公开/公告号	CN113064387A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人	同济大学	申请人地址	上海市杨浦区四平路1239号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	同济大学	当前权利人	同济大学
发明人	李莉;林国义
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	王丽霞

摘要

本发明提供了一种基于动态派工的半导体制造方法及系统。方法包括：获取第一样本数据，包括(α1，β1，α2，β2，γ，σ)值、(rh，rp)值、Move和Utility值，其中α1，β1，α2，β2，γ，σ分别与动态派工方法相关的六个加权参数，rh为生产线紧急工件比例，rp为后1/3光刻工件比例；基于所述第一样本数据，利用BP网络获得优化的(α1，β1，α2，β2，γ，σ)值和(rh，rp)值；通过线性规划方法将优化的(α1，β1，α2，β2，γ，σ)值和(rh，rp)值之间建立逻辑关系，得到逻辑关系表达式；利用基于粒子群算法的BP网络对逻辑关系表达式的系数进行优化，获得优化的系数。本发明实现了对动态派工方法的优化，在短期性能指标上优化效果明显提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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