一种大直径单晶炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201521011466.8
IPC分类号：C30B15/00;C30B29/06
申请日期：
2015-12-04
申请人：
安徽华芯半导体有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种大直径单晶炉
申请号	CN201521011466.8	申请日期	2015-12-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	安徽华芯半导体有限公司	申请人地址	安徽省马鞍山市马鞍山承接产业转移示范园区常州路125号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽华芯半导体有限公司	当前权利人	安徽华芯半导体有限公司
发明人	马四海;刘长清;张笑天;马青;丁磊;芮彪;朱光开;张静;张良贵;向贤平
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	蒋海军

摘要

本实用新型公开了一种大直径单晶炉，属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括副室、炉筒、晶体提升机构和底座，自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机，立轴位于侧开式副室的一侧，副室旋转轴通过连接件与侧开式副室固连；电机的输出轴与电机齿轮固连，副室旋转轴的上端固连传导齿轮；传导齿轮下表面固连有光电感应块一，传导齿轮下方的轴套上表面固连有光电限位开关一和光电限位开关二；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方；炉筒和立轴均设置于底座上。本实用新型主要解决了人力推动副室进行旋转时容易带来掉棒风险的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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