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质量分析装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980090682.0
  • IPC分类号:H01J49/10;G01N27/62
  • 申请日期:
    2019-02-19
  • 申请人:
    株式会社岛津制作所
著录项信息
专利名称质量分析装置
申请号CN201980090682.0申请日期2019-02-19
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-07公开/公告号CN113366607A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J49/10IPC分类号H;0;1;J;4;9;/;1;0;;;G;0;1;N;2;7;/;6;2查看分类表>
申请人株式会社岛津制作所申请人地址
日本国京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社岛津制作所当前权利人株式会社岛津制作所
发明人藤冈真悟;石原光
代理机构上海立群专利代理事务所(普通合伙)代理人杨楷;毛立群
摘要
本发明的质量分析装置具备:导电性的探针;探针移动部,使所述探针在所述探针的前端接触位于使试样附着在所述探针的前端的规定位置的试样的试样采集位置与该前端从所述试样分离的规定的离子生成位置之间沿上下方向移动;高电压施加部,对位于所述离子生成位置的所述探针施加高电压,从附着在该探针的试样产生源自该试样成分的离子;试样保持部(样品盘(4)),包含:试样容纳部(转台部(42)),具有可分别容纳试样的多个凹部(421);底座部(基部(41)),分离自如地保持该试样容纳部,并具有用于使该试样容纳部移动的机械元件(齿轮(412)、(413)),以使该试样容纳部的所述多个凹部逐一移动至所述试样采集位置。

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