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高速干燥装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03801101.8
  • IPC分类号:F26B15/00;F26B5/00;H01L21/304
  • 申请日期:
    2003-01-24
  • 申请人:
    协和化工株式会社
著录项信息
专利名称高速干燥装置
申请号CN03801101.8申请日期2003-01-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-12-22公开/公告号CN1556909
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F26B15/00IPC分类号F;2;6;B;1;5;/;0;0;;;F;2;6;B;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人协和化工株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人协和化工株式会社当前权利人协和化工株式会社
发明人竹森利则;茂木正树
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人何腾云
摘要
由不挥发性液体或挥发性液体洗过的被洗涤体迅速而廉价地被干燥、并防止该被洗涤体表面被氧化。残留于被洗涤体上的洗涤剂被去除到不能因洗涤剂存在而使被洗涤体表面被空气氧化的程度,而后立即将被洗涤体置于超干燥环境中完全去除残留于被洗涤体上的洗涤剂。

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