一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011434901.3
IPC分类号：H01Q15/00
申请日期：
2020-12-10
申请人：
深圳先进技术研究院

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著录项信息

专利名称	一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法
申请号	CN202011434901.3	申请日期	2020-12-10
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-16	公开/公告号	CN112510377A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01Q15/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01Q 天线（微波加热用辐射器或天线入H05B6/72） H01Q15/00 用于对天线辐射波进行反射、折射、绕射或极化的装置，例如准光学装置（用于改变方向性的可变装置入H01Q 3/00；用于引导电波的此种装置的构成入H01P 3/20；用于调制的可变装置入H03C 7/02）〔1，2006.01〕	IPC分类号	H;0;1;Q;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳先进技术研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学院大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳先进技术研究院	当前权利人	深圳先进技术研究院
发明人	佘荣斌;鲁远甫;李光元;杨春雷;祝永乐
代理机构	深圳智趣知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王策

摘要

本发明提供一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法，包括铟镓锌氧化物膜层；第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层，铟镓锌氧化物膜层位于第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层之间以形成层叠结构；第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层层叠在第一金属氧化物膜层的表面，第二石墨烯层层叠在第二金属氧化物膜层的表面。与现有技术相比，本发明通过电压调节铟镓锌氧化物膜层在太赫兹波段的电导率，利用第一石墨烯层和第二石墨烯层作为电极制备宽带柔性太赫兹调制器，实现对太赫兹波透过率的调制。使器件整体的插入损耗低，便于集成化设计，制造成本低，有利于实现大面积太赫兹调控。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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