多晶硅还原炉顶部进气装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120176649.0
IPC分类号：C01B33/027
申请日期：
2011-05-30
申请人：
上海森松环境技术工程有限公司

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著录项信息

专利名称	多晶硅还原炉顶部进气装置
申请号	CN201120176649.0	申请日期	2011-05-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/027 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/021 制备（由气相的化学涂层入C23C 16/00）〔5〕 C01B33/027 使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;2;7查看分类表>
申请人	上海森松环境技术工程有限公司	申请人地址	江苏省如皋市长江镇（如皋港区）森松路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	森松（江苏）重工有限公司	当前权利人	森松（江苏）重工有限公司
发明人	李东曦;李严州;程佳彪;茅陆荣
代理机构	上海百一领御专利代理事务所（普通合伙）	代理人	马育麟

摘要

本实用新型提供一种多晶硅还原炉顶部进气装置，包括进气总管、设置在还原炉上的进气分配管、连接进气分配管与还原炉的进气支管，设置在进气支管末端的喷嘴。本实用新型通过在还原炉顶部设置进气装置，形成独特的工艺气体进气形式，改善了还原炉内部气体分布情况，特别是还原炉上方的气体分布情况，使硅料的生长更均匀，更致密，提高了硅料的产品质量，减少了生产中非正常停车的次数，提高了设备安全性和稳定性。

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