气体混合泵

实用新型专利无效专利

申请号：
CN99229714.1
IPC分类号：--
申请日期：
1999-10-22
申请人：
中国科学院合肥智能机械研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	气体混合泵
申请号	CN99229714.1	申请日期	1999-10-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院合肥智能机械研究所	申请人地址	安徽省合肥市西郊董铺1130号信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥智能机械研究所	当前权利人	中国科学院合肥智能机械研究所
发明人	张正勇;张耀华;李民强;张蓉
代理机构	中国科学院合肥专利事务所	代理人	赵晓薇

摘要

一种气体混合泵,采用配气再反馈装置,预先混合后的气体浓度为100ppm进入储气室,再将气体浓度为100ppm的混合气体与混合底气如空气或氮气在一定压力下经阀1反馈至混合泵2进气口,再次混合输出气体浓度可达1ppm—100ppm,经阀2中1通道输入到用气装置。通过自动控制调节器调节所混合气体各成分的比例。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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